洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。
要做好净化工程需要了解的内容有哪些
洁净度:以单位体积空气某粒径料子的数量来区别的洁净程度。
千级净化工程主要过滤>=0.5UM尘埃粒子,其送风量按换气数一般在50次/H以上。
30万级净化工程主要过滤>=0.5UM尘埃粒子,其送风量按换气数一般在15次/H以上。
万级净化工程主要过滤>=0.5UM尘埃粒子,其送风量按换气数一般在30次/H以上。
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